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inmunología

Modelos teóricos de plasmas de argón y oxígeno usados en la deposición de láminas delgadas.
En esta Tesis Doctoral se abordan diferentes aspectos teóricos de los plasmas utilizados en las técnicas de deposición de láminas delgadas asistidas por plasmas (PECVD). Los modelos teóricos que se realizan están orientados principalmente a la diagnosis del plasma a partir del conocimiento de datos experimentales, tales como la intensidad de una línea de emisión o una población (densidad electrónica).En particular:* Se hace una introducción a los plasmas de onda de superficie que se utilizan en los dispositivos de deposición, comentando sus propiedades generales, así como los aspectos más relevantes a tener en cuenta al hacer una descripción teórica.* Se ...