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Diseño y realización de una válvula de alta presión en silicio usando tecnología MEMS.
El objetivo de la investigación realizada es el estudio de las necesidades actuales en los sistemas microfluidicos en cuanto al control del paso de fluidos. A partir de este estudio, se han analizado los procesos de fabricación de dispositivos de pequeño tamaño, con especial énfasis en las tecnologías de microsistemas y su fabricación en sala blanca. También se han estudiado los métodos de actuación para el control de fluidos, y con todo este conocimiento se ha diseñado y construido una microválvula de silicio para el control de fluidos a alta presión. El capítulo 1 describe por qué tal dispositivo es ...